光阻剥离废液再制方法及再制装置(二) RECYCLING METHOD FOR RESIST STRIPPER SCRAPPED AND RECYCLING DEVICE FOR THE SAME

摘要

本发明之目的系提供一种光阻剥离废液再制方法及再制装置，其特别适用于经济性良好地再制于使用包含各种特别之胺化合物之剥离液之剥离步骤及使用各种光阻及剥离液之情形所产生之光阻剥离废液。本发明系关于光阻剥离废液再制方法及适用该方法之再制装置，该再制方法系再制包含水、光阻、胺化合物、有机溶剂之光阻剥离废液者，其特征在于包含：(a)添加与光阻剥离废液之胺化合物反应，使胺化合物自剥离废液中析出作为胺-酸化合物之酸之阶段；(b)自剥离废液过滤出于前述(a)阶段所析出之胺-酸化合物之阶段；及(c)分馏前述(b)阶段之经去除胺之剥离废液，仅取得有机溶剂之阶段。