光阻剥离废液再制方法及再制装置(一) RECYCLING METHOD FOR RESIST STRIPPER SCRAPPED AND RECYCLING DEVICE FOR THE SAME

摘要

本发明之目的系提供一种光阻剥离废液再制方法及再制装置，其特别适用于经济性良好地再制于使用包含各种特别之胺化合物之剥离液之剥离步骤及使用各种光阻及剥离液之情形所产生之光阻剥离废液。本发明系关于光阻剥离废液再制方法及适用该方法之再制装置，该再制方法系再制包含水、光阻、胺化合物、有机溶剂之光阻剥离废液者，其特征在于包含以下阶段：(a)添加与光阻剥离废液之胺化合物反应，使胺化合物形成于蒸馏有机溶剂时不会被蒸馏之胺-酸化合物之酸的阶段；及(b)分馏前述(a)阶段之反应物，仅取得有机溶剂之阶段。