在压印微影术中的镶嵌式图案

摘要

本发明系有关一种用于层面0(被以压印或光微影术或电子束等图案化者)和层面1(被以压印图案化者)的图案化场之形状的选择，俾使该等形状当嵌合在一起时能消除由沟隙所造成的开放区域。