利用奈米粒子之微机电装置及方法

摘要

本发明揭示一种利用奈米粒子来减小静摩擦之微机电装置(MEMS)。在一实施例中，一微机电装置为一干涉测量调节器80，其包括：一具有一第一表面81a之透明电极组件81；及一具有一面向该第一表面81a之第二表面82a的可移动反射电极组件82。该可移动反射电极组件82在一放松与致动(压缩)位置之间可移动。将粒子沈积于该透明电极组件81上或一与该两个电极组件间隔之牺牲层上。该等粒子在该可移动反射电极组件82之反射表面82a中产生凹坑83。该等粒子可与该牺牲层一起被移除或留在最终的装置中。