质流控制器之热虹吸补偿

摘要

一种用于控制一流体之流量的热质流控制器，其系包含：一导管，其系经组态成可接收该流体；一压力感测器，其系于该流体在该导管内流动时测出该流体的压力；一测出该流体之周遭温度的温度感测器；以及，一热感测器，其系产生一表示该流体之流量的输出。该热质流控制器更包含一控制系统，该控制系统系经组态成可监视该热感测器的输出、用该压力感测器测得之压力、以及用该温度感测器测得之周遭温度，以调节该流体在该导管内的流量，以便补偿热虹吸所造成之热感测器输出的偏移。