载台装置、曝光装置、载台控制方法、曝光方法、以及元件制造方法

摘要

一种载台装置，具备：具有用以保持基板的保持部之可动体、第1机构及控制装置。可动体可在第1位置与第2位置之间移动。于第1位置基板系保持于保持部，于第2位置基板系从保持部分离。第1机构系用以调整基板与保持部之间的间隔。控制装置，系将可动体于第1位置与第2位置之间的移动、与藉由第1机构之间隔调整的至少一部分同时执行。