蒸镀装置、蒸镀方法及光电装置之制造方法以及成膜装置

摘要

针对蒸镀装置，降低附着于真空室内壁面之附着物的剥离，并且提升蒸镀膜之指向性。蒸镀装置10具备使自靶材110蒸发之蒸发物质110蒸镀在基板210的电子束系统120，和规定用以设置靶材110及基板210之空间，并且能将空间101维持真空之腔室100。并且，具备被设置在腔室100之侧壁面100a之一部份，各朝向比侧壁面100a之法线方向更朝靶材110之方向突出的多数檐部150。