均匀汽化金属与有机材料

摘要

本发明提供一种用于将第一及第二独立汽化材料混合并沈积于基板表面上以形成一层的方法，其中该第一材料包括金属且第二材料为非金属，该方法包括：提供一混合歧管，其经安置以使得可将汽化材料传递于基板表面上；提供第一及第二加热元件以用于独立汽化第一及第二材料，该等加热元件经安置以使得可将汽化材料传递于混合歧管中；及以一受控速率分别将第一及第二材料定量供应至第一及第二加热元件，使得将包括金属之汽化材料传递至混合歧管，于其中汽化材料经混合且随后沈积于基板表面上以形成包括金属之层。