具游离腔电极设计之离子植入器

摘要

一种离子植入器，其系包含一用于产生沿着束路径行进之离子束的离子源以及一真空或植入腔，其中诸如矽晶圆之工件被放置在游离腔中与离子束相交以便离子束将离子植入工件的表面。离子源包含游离腔以及定义游离腔孔洞的游离腔电极，其中游离腔电极包含一凸起部位，用于在邻近游离腔电极的区域中产生实质一致的电场。