基板处理系统及方法

摘要

课题提供在1段式或2段式的1以上的基板处理腔能混杂的多腔型基板处理系统中，提升产能的基板处理装置及方法。解决手段因应于腔的种类及基板的处理，从同时地进入及退出2支搬运臂来进行基板搬出入的第1次序，以互相不相同的时机进入2支搬运臂来进行基板搬出入的第3次序，及仅同时进行基板之搬入与搬出的第1与第3次序的中间性第2次序中，使用着最适当的基板的搬出入方法。