基板保持台、基板温度控制装置、及基板温度控制方法

摘要

〔课题〕在专利文献1、2所记载的技术中，系以从细密形成在夹盘上面的螺旋状沟的其中一端，来供给液体，且从另一端排出的方式所形成，由于朝向沟与沟之间的基板与夹盘之界面的移动，系使用毛细管现象，故液的移动很慢，难以迅速控制基板温度。〔解决手段〕本发明的基板保持台10，系具备：保持晶圆W的保持台11；和控制该保持台11温度的温度控制装置，保持台11，系具备：在保持台11的上面形成开口，且在晶圆W与保持台11之间，供给来自温度控制装置12的第2冷却液的开口部113；和形成在开口部113附近，且排出晶圆W与保持台11之间的第2冷却液的真空吸附沟114；和在真空吸附沟114形成开口，且从真空吸附沟114排出第2冷却液的开口部116。