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发明名称 LIGHT DIFFRACTION METHOD AND DIFFRACTION DEVICE, DIFFRACTION GRATING USED FOR THEM, AND POSITION ENCODER DEVICE
摘要
申请公布号 KR100783996(B1) 申请公布日期 2007.12.07
申请号 KR20057025343 申请日期 2005.12.29
申请人 发明人
分类号 G02B5/18;G02B26/08 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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