Verfahren zur Herstellung einer Ätzstoppschicht für eine Metallisierungsschicht mit verbesserter Ätzselektivität und besserem Einschlussverhalten,申请号DE20051052053-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren zur Herstellung einer Ätzstoppschicht für eine Metallisierungsschicht mit verbesserter Ätzselektivität und besserem Einschlussverhalten
摘要
申请公布号	DE102005052053(B4)	申请公布日期	2007.12.06
申请号	DE20051052053	申请日期	2005.10.31
申请人	ADVANCED MICRO DEVICES INC.	发明人	HOHAGE, JOERG;LEHR, MATTHIAS;KAHLERT, VOLKER
分类号	H01L21/768;H01L23/532	主分类号	H01L21/768
代理机构		代理人
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