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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING METHOD AND PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
KR100782621(B1)
申请公布日期
2007.12.06
申请号
KR20057003051
申请日期
2005.02.23
申请人
发明人
分类号
H01L21/3065;H01J37/32
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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