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发明名称
Apparatus for depositing
摘要
申请公布号
KR100782529(B1)
申请公布日期
2007.12.06
申请号
KR20010069598
申请日期
2001.11.08
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/677
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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