发明名称 被检测光学元件旋转保持装置
摘要 提供一种具备被检测体夹持型的旋转保持机构的被检测光学元件旋转保持装置,该被检测体夹持型的旋转保持机构可使被检测光学元件的厚度改变时的轴方向的位置调整在不对偏芯量的测定产生坏影响的状态下易于进行。具有圆盘状旋转体(51)的旋转保持部(5)经由Z轴移动台(7A)设置在倾斜度调整台(8)上,具有V字状抵接体(61)的定位保持部(6)经由(XY)轴移动台(9)及Z轴移动台(7B)设置在倾斜度调整台(8)上。吸引保持台(4)所保持的被检测透镜和圆盘状旋转体(51)及V字状抵接体之间的相对高度调整通过使用旋转保持部(5)侧的(Z)轴移动台(7A)和定位保持部(6)侧的(Z)轴移动台(7B)来进行。
申请公布号 CN101082538A 申请公布日期 2007.12.05
申请号 CN200710108749.8 申请日期 2007.05.31
申请人 富士能株式会社 发明人 孙萍;大井重德
分类号 G01M11/02(2006.01);G01B11/27(2006.01) 主分类号 G01M11/02(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 李香兰
主权项 1、一种被检测光学元件旋转保持装置,相对偏芯量测定装置的光学系统将被检测光学元件以可围着规定的轴旋转的方式保持,具备:吸引保持台,将上述被检测光学元件吸引保持在上述光学系统的光轴上;圆盘状旋转体,与上述吸引保持台所吸引保持的上述被检测光学元件的周面从一方侧抵接,并且使该被检测光学元件围着所述轴旋转;V字状抵接体,与上述吸引保持台所吸引保持的所述被检测光学元件的周面按照夹持上述轴的方式从上述圆盘状旋转体的相反侧抵接,防止上述被检测光学元件在旋转时的位置偏差;第一轴方向位置调整部件,用来进行上述圆盘状旋转体的上述轴方向的位置调整;和第二轴方向位置调整部件,用来进行上述V字状抵接体的上述轴方向的位置调整。
地址 日本国埼玉县