一种通过热压来制备各向异性有机场效应管的方法

摘要

本发明属于有机半导体学中的微细加工领域，特别是一种通过热压来制备各向异性有机场效应管的方法。其步骤如下：1.在导电基底上制备绝缘介质层；2.在绝缘介质层薄膜表面上蒸发沉积第一层有机半导体薄膜；3.利用光滑的辊筒对有机薄膜在高温下滚动加压；4.蒸发沉积第二层同质有机物薄膜；5.通过镂空的掩模版沉积生长源漏金属电极，完成各向异性有机场效应管的制备。

主权项

1，一种通过热压来制各各向异性有机场效应管的方法，其特征在于，介质层衬底上先蒸发沉积第一层有机半导体材料，然后利用光滑的不锈钢辊筒对有机薄膜在高温下进行滚动加压，改变其形貌和结构特征，使其沿着滚动方向的晶粒被拉长；再蒸发沉积第二层有机半导体材料，由于受到第一层有机物取向化形貌的影响，第二层有机半导体材料会形成各向异性的薄膜，提高器件的迁移率，接着沉积金属源漏电极，完成各向异性的有机场效应晶体管的制备。