光偏转器及使用光偏转器的光学仪器

摘要

本申请涉及一种光偏转器及使用光偏转器的光学仪器，尤其涉及不管诸如温度的环境干扰如何，都可以相对稳定地驱动的光偏转器，该光偏转器包括具有不同频率的多个固有振动模式的振动系统(160)、用于驱动振动系统的驱动单元、以及用于将驱动信号提供给驱动单元的驱动控制单元，该振动系统(160)包括具有光偏转元件(22)的第一振荡器可移动元件(11)、第一扭簧(12)、第二振荡器可移动元件(13)、第二扭簧(12)、和支撑部件(15)，该光偏转器还包括用于检测第一和/或第二扭簧的机械形变的畸变检测元件(25a和25b)，以及生热元件(19)，其用于稳定固有振动模式的频率和扫描状态以确保稳定的正弦波组合驱动。

主权项

1.一种光偏转器，包括：振动系统，包括具有光偏转元件的第一振荡器可移动元件、第二振荡器可移动元件、配置以将所述第一和第二振荡器可移动元件互相耦合并且支撑所述第一振荡器可移动元件用于相对于所述第二振荡器可移动元件扭振的第一扭簧、支撑部件、以及配置以将所述支撑部件和所述第二振荡器可移动元件互相耦合并且支撑所述第二振荡器可移动元件用于关于与所述第一振荡器可移动元件的振动轴相同的轴而相对于所述支撑部件扭振的第二扭簧；配置以将驱动力施加给所述振动系统的驱动系统；以及配置以将驱动信号提供给所述驱动系统的驱动控制系统；其中所述振动系统还包括畸变检测元件，其被配置为检测所述第一和第二扭簧中至少一个的机械形变、以及生热元件，其被配置为加热所述振动系统，并且其中所述振动系统关于振动轴至少具有不同频率的两个固有振动模式。