发明名称 与铜焊接相容的焊接垫板结构和方法
摘要 本发明披露了一种与Cu焊接相容的焊接垫板结构和相应的方法。该器件焊接垫板结构包括一种过渡缓冲结构,由各互连金属区和各不导电钝化材料区构成,该过渡缓冲结构提供了对于下埋各层和器件结构的缓冲隔离。
申请公布号 CN101083239A 申请公布日期 2007.12.05
申请号 CN200710109255.1 申请日期 2007.05.25
申请人 万国半导体股份有限公司 发明人 弗兰克斯·赫尔伯特;安荷·叭剌
分类号 H01L23/485(2006.01);H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L23/485(2006.01)
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 张静洁
主权项 1.一种器件焊接垫板结构,其特征在于,包括:由一些互连金属区和一些不导电钝化材料区形成的过渡缓冲结构,该过渡缓冲结构提供对于下埋各层和器件结构的缓冲隔离。
地址 百慕大哈密尔敦维多利亚街22号佳能院