| 发明名称 | 一种精确控制铝线宽的方法 | ||
| 摘要 | 本发明有关一种精确控制铝线宽的方法，可以精确控制硅片刻蚀中铝线的线宽，其首先进行铝线刻蚀，在每一次刻蚀后通过刻蚀铝的机器上的自动反馈系统进行线宽测量，如果线宽符合要求则进行下一片刻蚀，如果线宽不符合要求则由自动反馈系统进行刻蚀程序的调整，根据调整后的参数进行下一片的刻蚀。通过上述方法可以防止铝线与铝线间发生短路的现象，基本杜绝由于铝线短路现象而造成的损失。 | ||
| 申请公布号 | CN100353508C | 申请公布日期 | 2007.12.05 |
| 申请号 | CN200410089228.9 | 申请日期 | 2004.12.08 |
| 申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 周贯宇 |
| 分类号 | H01L21/3213(2006.01);H01L21/66(2006.01);H01L21/306(2006.01) | 主分类号 | H01L21/3213(2006.01) |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁纪铁 |
| 主权项 | 1、一种精确控制铝线宽的方法，可以精确控制硅片刻蚀中铝线的线宽，其特征在于：首先进行铝线刻蚀，在每一次刻蚀后通过刻蚀铝的机器上的自动反馈系统进行线宽测量，如果线宽符合要求则进行下一片刻蚀，如果线宽不符合要求则由自动反馈系统进行刻蚀程序的调整，根据调整后的参数进行下一片刻蚀。 | ||
| 地址 | 201206上海市浦东川桥路1188号 | ||