发明名称 MICRO-ELECTROMECHANICAL PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP1802952(A4) 申请公布日期 2007.12.05
申请号 EP20040789585 申请日期 2004.10.18
申请人 SILVERBROOK RESEARCH PTY. LTD 发明人 SILVERBROOK, KIA;MALLISON, SAMUEL GEORGE
分类号 G01L9/00;B60C23/04;F15C3/04;G01L7/08 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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