扫描探针显微镜压电扫描管的X－Y二维平面扫描驱动系统

摘要

本发明涉及扫描探针显微镜压电扫描管的X－Y二维平面扫描驱动系统，该系统包括驱动扫描探针显微镜快轴方向的驱动信号(可选择的锯齿波驱动信号和正弦波驱动信号)、驱动慢轴的阶梯波信号，其中快轴和慢轴的驱动信号可以实现输出通道交换，即在实际驱动扫描管时交换快轴和慢轴。该系统还可以实现在最大扫描范围内的X－Y二维平面内任意定位扫面中心，并对选定区域进行扫描。本发明提供的扫描探针显微镜压电扫描管驱动系统用于研究扫描探针显微镜快速扫描的方法，也可作为扫描探针显微镜快速扫描系统的平面扫描驱动模块。该系统具有扫描速度快、适用性强等特点。

主权项

1.一种扫描探针显微镜压电扫描管的X-Y二维平面扫描驱动系统，包括四分电极式压电扫描管、起始点定位模块、高压放大模块、高压直流电源，其特征在于，还包括控制器、驱动信号发生模块、快轴、慢轴切换模块，驱动信号发生模块用以根据控制器输出的快轴数字信号和慢轴数字信号生成快轴信号和慢轴信号，快轴、慢轴切换模块的输入端接入所述的快轴信号和慢轴信号，在控制器的控制下可选择地切换输出X轴驱动信号和Y轴驱动信号，由快轴、慢轴切换模块选通的X轴驱动信号和Y轴驱动信号分别经过所述的高压放大模块的放大后加载在压电扫描管相应的X轴或Y轴上。