光偏转器和使用该光偏转器的光学仪器

摘要

光偏转器包括振荡系统和用于驱动振荡系统的驱动系统，振荡系统包括第一振荡器、第一扭力弹簧、第二振荡器、第二扭力弹簧和支撑部件，第一振荡器包括具有被配置为偏转光的光偏转元件的第一可活动元件，第二振荡器包括具有被配置为调整质量的质量调整部件的第二可活动元件，其中，第一可活动元件由第二可活动元件通过第一扭力弹簧弹性地支撑，用于围绕振荡轴进行扭转振荡，其中，第二可活动元件由支撑部件通过第二扭转弹簧弹性地支撑，用于围绕振荡轴进行扭转振荡，以及其中，振荡系统具有至少两种具有不同的频率的围绕振荡轴振荡的固有振荡模式。

主权项

1、一种光偏转器，包括：振荡系统；以及驱动系统，其被配置为驱动所述振荡系统；其中，所述振荡系统包括第一振荡器、第一扭力弹簧、第二振荡器、第二扭力弹簧和支撑部件，其中，所述第一振荡器包括具有被配置为使光偏转的光偏转元件的第一可活动元件，其中，所述第二振荡器包括具有被配置为调整质量的质量调整部件的第二可活动元件，其中，所述第一可活动元件由所述第二可活动元件通过所述第一扭力弹簧弹性地支撑，用于围绕该振荡轴进行扭转振荡，其中，所述第二可活动元件由所述支撑部件通过所述第二扭转弹簧弹性地支撑，用于围绕振荡轴进行扭转振荡，以及其中，所述振荡系统具有至少两种具有不同频率、围绕该振荡轴振荡的固有振荡模式。