发明名称 识别程序化及抹除存储单元中的逻辑信息的方法
摘要 一种于存储单元中识别逻辑信息的方法,尤其是一种单边读取架构的通过热空穴注入氮化物电子储存层以程序化(programming by hot hole injectionnitride electron storage,PHINES)存储单元。此方法包括以下步骤:通过增加一局部临界电压至一特定值以抹除PHINES存储单元的第一储存电荷区和第二储存电荷区;通过热空穴注入以程序化PHINES存储单元的第一储存电荷区和第二储存电荷区中至少其中一个储存电荷区;通过测量第一储存电荷区和第二储存电荷区之一的输出电流,以读取PHINES存储单元的逻辑状态。其中,第一储存电荷区和第二储存电荷区中储存不同的热空穴量之间的作用造成不同的输出电流量,以使PHINES存储单元的逻辑状态可通过单边读取架构判断。
申请公布号 CN100353529C 申请公布日期 2007.12.05
申请号 CN200510074790.9 申请日期 2005.06.03
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 吴昭谊;李明修;徐子轩
分类号 H01L21/8247(2006.01);H01L27/115(2006.01);G11C11/40(2006.01);G11C16/02(2006.01) 主分类号 H01L21/8247(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1.一种用于通过热空穴注入氮化物电子储存层以程序化存储单元的读取逻辑信息的方法,该通过热空穴注入氮化物电子储存层以程序化存储单元简称为PHINES存储单元,其具有一第一电极、一第一储存电荷区、一第二电极、一第二储存电荷区,该两电极之间有一通道,并且具有一位于该通道上方的栅极,一ONO栅极电介质层将该通道与该栅极分隔开,该方法包括:抹除该第一储存电荷区以及该第二储存电荷区使得一临界电压到达一特定值;测量该PHINES存储单元的该第一电极以及该第二电极二者之一的一输出电流;以及分析该输出电流,并且通过该输出电流量以识别多个存储单元状态,其中每一个状态代表PHINES存储单元逻辑信息控制2的X次方的状态可以实现X位的存储器,X为正整数。
地址 台湾省新竹科学工业园区