发明名称 半导体器件的接触结构及其制造方法
摘要 一种半导体接触结构,包括:一衬底;具有与衬底相反极性的一导电掺杂层,该导电掺杂层形成在衬底中;形成在导电掺杂层上的一导电层;以及形成在衬底中导电掺杂层下方的一绝缘掺杂层。
申请公布号 CN100353540C 申请公布日期 2007.12.05
申请号 CN200410057912.9 申请日期 2004.08.26
申请人 三星电子株式会社 发明人 金俊永;崔秉龙;李银京
分类号 H01L23/48(2006.01);H01L23/52(2006.01);H01L29/78(2006.01);H01L27/04(2006.01);H01L21/28(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/82(2006.01) 主分类号 H01L23/48(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1.一种半导体的接触结构,包括:一衬底;具有与该衬底相反极性的一导电掺杂层,该导电掺杂层形成在衬底中;形成在所述导电掺杂层上的一导电层;及形成在所述衬底中所述导电掺杂层下方的一绝缘掺杂层。
地址 韩国京畿道
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