发明名称 METHOD OF FORMING FIELD OXIDE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100781871(B1) 申请公布日期 2007.12.05
申请号 KR20010039026 申请日期 2001.06.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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