| 发明名称 | 具有蒸镀器管的材料蒸镀装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及具有蒸镀器管等的材料蒸镀装置，所述装置包括至少一个被蒸镀材料的排出口。所述蒸镀器管与蒸汽分配器连接，并包括至少两个可独立加热的蒸镀器单元。在所述蒸镀器管中，具有通过间隙分隔的上活塞和下活塞。所述至少两个独立的蒸镀器单元以夹钳形式至少部分地围绕所述下活塞和/或上活塞。 | ||
| 申请公布号 | CN101082122A | 申请公布日期 | 2007.12.05 |
| 申请号 | CN200710110597.5 | 申请日期 | 2007.06.04 |
| 申请人 | 应用材料合资有限公司 | 发明人 | 吉多·哈滕多夫 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01) | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵飞 |
| 主权项 | 1.一种具有蒸镀器管(3)的材料蒸镀装置，所述装置包括用于蒸镀材料的至少一个排出口(85)，其特征在于，具有平行设置的至少两个蒸镀器单元(27、32、51-60)，所述蒸镀器单元可以沿着公共轴相对彼此运动。 | ||
| 地址 | 德国阿尔岑瑙 | ||