| 发明名称 | 有机蒸镀器、涂敷设备、及其使用方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于以涂敷速率将有机蒸气涂敷到衬底的有机蒸镀器，该有机蒸镀器包括分配管和测量装置，分配管带有至少一个喷嘴出口，测量装置用于获取与有机蒸气的至少一个特征性能有关的测量数据。 | ||
| 申请公布号 | CN101082121A | 申请公布日期 | 2007.12.05 |
| 申请号 | CN200710110596.0 | 申请日期 | 2007.06.04 |
| 申请人 | 应用材料合资有限公司 | 发明人 | 马库斯·班德尔;吉多·哈滕多夫 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01);C23C14/12(2006.01);C23C14/54(2006.01) | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵飞 |
| 主权项 | 1.一种有机蒸镀器，用于以涂敷速率将有机蒸气施加到衬底，所述有机蒸镀器包括：分配管(100)，带有至少一个喷嘴出口(110)；和测量装置(130；120、200)，用于获取与所述有机蒸气的至少一个特征性能有关的测量数据。 | ||
| 地址 | 德国阿尔岑瑙 | ||