发明名称 Bubble removing device for removing bubbles in chemicals and bubble removing method using the same
摘要
申请公布号 KR100780936(B1) 申请公布日期 2007.12.03
申请号 KR20010055066 申请日期 2001.09.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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