发明名称 Ferroelectric Film and Method of Manufacturing The Same
摘要
申请公布号 KR100781844(B1) 申请公布日期 2007.12.03
申请号 KR20050129722 申请日期 2005.12.26
申请人 发明人
分类号 H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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