发明名称 CUSTOMIZED POLISHING PADS FOR CMP AND METHODS OF FABRICATION AND USE THEREOF
摘要
申请公布号 IL185099(D0) 申请公布日期 2007.12.03
申请号 IL20070185099 申请日期 2007.08.07
申请人 NEOPAD TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人
分类号 B24D 主分类号 B24D
代理机构 代理人
主权项
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