发明名称 曝光装置及光阻之曝光方法
摘要 一种可携式曝光系统,包括有一电脑主机,用以产生一控制码,以驱动连接于电脑主机之曝光装置。曝光装置包含有控制电路、光源、光源移动平台及基板移动平台。其中控制电路系连接于电脑主机,用以接收控制码。光源系连接于控制电路,用以产生曝光光束。光源移动平台系连接于控制电路,用以带动光源于一横轴方向移动。而基板移动平台系连接于控制电路,设于光源移动平台下方,用以带动基板沿一纵轴方向移动。其中控制电路依据控制码控制光源于一预定时间投射曝光光线,并使光源移动平台及该基板移动平台驱动光源相对于基板沿预定路径位移。
申请公布号 TW200743910 申请公布日期 2007.12.01
申请号 TW095117544 申请日期 2006.05.17
申请人 坤德股份有限公司;连科技有限公司;大同股份有限公司 TATUNG COMPANY 台北市中山区中山北路3段22号 发明人 简昭珩;朱以瀛
分类号 G03F7/20(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 代理人 许世正
主权项
地址 台北市中山区中山北路3段22号5楼
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