| 主权项 |
1.一种转盘装置,使用表面涂敷材料,并藉由使基片 转动的离心力而涂敷中心部位具有中心孔的基片, 该转盘包括: 支撑单元,具有平坦表面,为了在该水平表面牢固 支撑基片,该表面至少具备一个向该基片提供真空 力的真空孔; 弹性体,安装在该支撑单元中心,该弹性体插入牢 固支撑在该支撑单元表面上基片之中心孔,并由于 外力作用产生弹性变形而封闭该中心孔;以及 挤压构件,放置在该弹性体上以挤压该弹性体使该 弹性体弹性变形的。 2.如申请专利范围第1项所述之转盘装置,其中该弹 性体具有预定厚度,其外周面对该基片中心孔之内 周。 3.如申请专利范围第1项或第2项所述之转盘装置, 其中该支撑单元在该弹性体之下具有穿透该支撑 单元的真空孔,该转盘装置还包括: 停止杆,形成在该挤压构件底面,并穿过该弹性体 且伸进该真空孔,以使该停止杆在施加于该真空孔 的真空力作用下能够在该真空孔内运动。 4.如申请专利范围第3项所述之转盘装置,其中该真 空孔导引该停止杆的运动,并在其内周形成有台阶 部分,以限制该停止杆的运动。 5.如申请专利范围第2项所述之转盘装置,其中该弹 性体沿其外周形成若干凹凸部分。 6.如申请专利范围第1项所述之转盘装置,其中该弹 性体选自由天然橡胶、异戊二烯橡胶、聚丁橡胶 、氯丁二烯橡胶、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯(SBS)橡胶 、丁二烯橡胶(NBR)、苯乙烯聚丁橡胶(SBR)、矽橡 胶,以及聚氨酯橡胶组成的材料组。 7.如申请专利范围第1项所述之转盘装置,还包括在 该弹性体周围形成的排泄涂料的出料口。 8.如申请专利范围第1项所述之转盘装置,还包括: 连接杆,安装于该挤压构件底面上,并穿过该弹性 体与从该支撑单元朝下延伸的支撑构件;以及 驱动单元,安装于该支撑单元之下,该驱动单元驱 动连接杆促使该挤压构件使该弹性体弹性变形,以 封闭该中心孔。 9.如申请专利范围第8项所述之转盘装置,其中该连 接杆是一磁性体,该驱动单元包括一电磁铁,该电 磁铁在外部电信号作用下产生磁力以驱动该连接 杆。 10.如申请专利范围第8项所述之转盘装置,其中该 驱动单元是连接于该连接杆,并驱动该连接杆的水 压或空压驱动装置。 图式简单说明: 图1系说明光传递层厚度跟基片中心与旋涂期间涂 敷给该基片的光矫正树脂之间距离的关系曲线图 。 图2系旋涂法用的传统转盘装置之截面图。 图3与图4系解释本发明实施例转盘装置之构造与 操作机构的截面图。 图5系图3与图4旋涂法用的转盘装置的改进例子之 局部截面图。 图6系解释本发明另一实施例转盘装置之构造与操 作机构的截面图。 图7系解释本发明又另一实施例转盘装置之构造与 操作机构的截面图。 |
