半导体装置及其制造方法

摘要

本实施例提供了一种半导体装置以及制造半导体装置的方法，半导体装置包括基底，此基底包括多个主动区域以及多个隔离区域，此隔离区域位于相邻主动区域之间，每一主动区域包括凹槽，凹槽的底面位于主动区域的上表面的下方。