载具、半导体装置与传输介面系统

摘要

一种载具包括：一密闭容器，包括一门盖；一储存槽，连结该载具，该储存槽包括至少一流体调节阀且含有至少一流体，该流体包含至少一还原气体、非反应气体或惰性气体；以及至少一基板载具，设置于该密闭容器内以支撑至少一基板。本发明亦关于一种半导体装置与机台装置传输介面系统。