发明名称 A devide for electroplating of substrate
摘要
申请公布号 KR100781384(B1) 申请公布日期 2007.11.30
申请号 KR20060032320 申请日期 2006.04.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/288 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
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