| 发明名称 |
EQUIPEMENT ET PROCEDE DE SURVEILLANCE D'UN DISPOSITIF LITHOGRAPHIQUE A IMMERSION. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2890742(B1) |
申请公布日期 |
2007.11.30 |
| 申请号 |
FR20050009269 |
申请日期 |
2005.09.12 |
| 申请人 |
SOCIETE DE PRODUCTION ET DE RECHERCHES APPLIQUEESSOPRA SOCIETE ANONYME |
发明人 |
PIEL JEAN PHILIPPE;STEHLE JEAN LOUIS |
| 分类号 |
G01N21/41;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/41 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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