发明名称 NON-VOLATILE MEMORY CELL OF A CIRCUIT INTEGRATED IN A SEMICONDUCTOR CHIP, METHOD FOR PRODUCING IT, AND USE OF A NON-VOLATILE MEMORY CELL
摘要 <p>Verfahren zur Herstellung einer nichtflüchtigen Speicherzelle in einem Halbleiterplättchen bei dem eine Gate-Elektrode (40) ausgebildet wird, ein Lesebereich (30) ausgebildet wird, der mit der Gate-Elektrode (40) eine Transistoranordnung bildet, ein erster Programmierbereich (10) ausgebildet wird, der mit der Gate-Elektrode (40) einen erste Kondensator bildet, ein zweiter Programmierbereich (20) ausgebildet wird, der mit der Gate-Elektrode (40) einen zweiten Kondensator bildet, und ein dielektrischer Isolator (50) aufgebildet wird, der die Gate-Elektrode (40) von dem Lesebereich (30) und von dem ersten Programmierbereich (10) und von dem zweiten Programmierbereich (20) isoliert, dadurch gekennzeichnet, dass die Gate-Elektrode (40) auf den dielektrischen Isolator (50, 531 , 532, 533) sowohl oberhalb des Lesebereichs (30) als auch oberhalb des ersten Programmierbereichs (10) als auch oberhalb des zweiten Programmierbereichs (40) als leitende Schicht (41 , 42, 43) aufgebracht wird.</p>
申请公布号 WO2007134751(A1) 申请公布日期 2007.11.29
申请号 WO2007EP04288 申请日期 2007.05.15
申请人 ATMEL GERMANY GMBH;DIETZ, FRANZ 发明人 DIETZ, FRANZ
分类号 H01L21/336;G11C16/04;H01L21/8247;H01L27/115;H01L27/12;H01L29/423;H01L29/788 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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