PROCÉDÉ DE PRÉPARATION DE CÉRAMIQUES, CÉRAMIQUES AINSI OBTENUES ET LEURS UTILISATIONS NOTAMMENT COMME CIBLE POUR PULVÉRISATION CATHODIQUE

摘要

Procédé de préparation d'une céramique, à partir d'un matériau inorganique de base qui est sous forme d'une poudre ayant un point de fusion élevé, comprenant une étape de mélange de la poudre du matériau inorganique de base avec un deuxième composant inorganique, lui aussi sous forme de poudre, qui joue le rôle de dopant du matériau inorganique de base. Le dopant est constitué par un seul matériau inorganique ou par un mélange d'au moins deux matériaux inorganiques ayant un effet dopant sur le matériau inorganique de base. Le procédé comprend une étape de frittage réalisée à une température élevée. Les céramiques obtenues, en raison de leur forte densité, sont avantageusement utilisées comme élément cible. Les films et électrodes obtenues à partir de ces céramiques présentent des propriétés particulièrement intéressantes.