| 发明名称 |
TIO2 ENTHALTENDES SILICIUMDIOXID-GLAS UND OPTISCHES MATERIAL FÜR DIE EUV-LITHOGRAPHIE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602004009553(D1) |
申请公布日期 |
2007.11.29 |
| 申请号 |
DE20046009553T |
申请日期 |
2004.04.02 |
| 申请人 |
ASAHI GLASS CO. LTD. |
发明人 |
IWAHASHI, YASUTOMI;KOIKE, AKIO |
| 分类号 |
C03B20/00;C03C3/06;C03B19/14;C03C4/00 |
主分类号 |
C03B20/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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