Lithographischer Apparat mit einem System zur Positionsdetektion
摘要
申请公布号
DE60033775(T2)
申请公布日期
2007.11.29
申请号
DE20006033775T
申请日期
2000.12.20
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
CASTENMILLER, THOMAS JOSEPHUS MARIA;ARIENS, ANDREAS BERNARDUS GERARDUS;HOEKS, MARTINUS HENDRICUS HENDRICUS;VOGELSANG, PATRICK DAVID;LOOPSTRA, ERIK ROELOF;KWAN, YIM BUN PATRICK
