发明名称 |
ANORDNUNG ZUR LAGERUNG VON GEGENSTÄNDEN, INSBESONDERE VON SCHEIBENFÖRMIGEN GEGENSTÄNDEN, WIE WAFERN, FLACHEN PANELEN, ODER CDS |
摘要 |
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申请公布号 |
DE60033996(T2) |
申请公布日期 |
2007.11.29 |
申请号 |
DE20006033996T |
申请日期 |
2000.04.03 |
申请人 |
QIMONDA DRESDEN GMBH & CO. OHG |
发明人 |
MISSALE, REINER;HAHN, SVEN |
分类号 |
B65G1/00;H01L21/00;G11B7/26;H01L21/02;H01L21/673;H01L21/677 |
主分类号 |
B65G1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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