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发明名称 SUSCEPTOR OF EQUIPMENT FOR GAS PHASE THIN FILM GROWTH AND EQUIPMENT FOR GAS PHASE THIN FILM GROWTH USING THE SUSCEPTOR
摘要
申请公布号 KR100780301(B1) 申请公布日期 2007.11.29
申请号 KR20060084219 申请日期 2006.09.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/52;C30B25/12;C30B25/16;C30B31/14;C30B31/18;H01L21/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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