Verfahren zum Vereinzeln von Halbleiterstrukturen sowie zum Vereinzeln vorbereitetes Halbleitersubstrat,申请号DE20011022839-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Vereinzeln von Halbleiterstrukturen sowie zum Vereinzeln vorbereitetes Halbleitersubstrat
摘要
申请公布号	DE10122839(B4)	申请公布日期	2007.11.29
申请号	DE20011022839	申请日期	2001.05.11
申请人	QIMONDA AG	发明人	LEHMANN, VOLKER
分类号	H01L21/78;H01L29/38	主分类号	H01L21/78
代理机构		代理人
主权项
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