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发明名称 VOLTAGE CONTROL SENSOR AND CONTROL INTERFACE FOR RADIO FREQUENCY POWER REGULATION IN A PLASMA REACTOR
摘要
申请公布号 KR100779444(B1) 申请公布日期 2007.11.26
申请号 KR20027003806 申请日期 2002.03.22
申请人 发明人
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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