PROCEDE ET DISPOSITIF D'AJUSTAGE DE LA FREQUENCE PROPRE D'UN MICRO-MIROIR.

摘要

Procédé d'ajustage de la fréquence propre (fo) d'un micro-miroir (10) sur une structure micro mécanique (16), avec une excitation du micro-miroir (10) appliquée par la force d'un champ magnétique externe (12) et la force d'une bobine (14) traversée par le courant et appliquée sur la structure micro mécanique (16).On ajuste la fréquence propre (fo) du micro-miroir (10) en appliquant une force de compensation supplémentaire.Les micro-miroirs (10) sont utilisés par exemple pour les projecteurs numériques de lumière ou les afficheurs en tête (DLP ou HUD).Pour un tel micro-miroir (10) il faut ajuster la fréquence propre (fo).Cet ajustage se fait par l'application d'une force supplémentaire.