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发明名称
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, FIELD-EFFECT TRANSISTOR, AND THEIR PRODUCTION METHODS
摘要
申请公布号
KR100778196(B1)
申请公布日期
2007.11.22
申请号
KR20057014232
申请日期
2005.08.02
申请人
发明人
分类号
H01L21/20;H01L29/161;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/165;H01L29/78
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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