发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, FIELD-EFFECT TRANSISTOR, AND THEIR PRODUCTION METHODS
摘要
申请公布号 KR100778196(B1) 申请公布日期 2007.11.22
申请号 KR20057014232 申请日期 2005.08.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L29/161;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/165;H01L29/78 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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