发明名称 Apparatus for method for etching objects
摘要
申请公布号 US3097154(A) 申请公布日期 1963.07.09
申请号 US19590786516 申请日期 1959.01.13
申请人 NUCLEAR MATERIALS AND EQUIPMENT CORPORATION 发明人 ECK JOHN E.;JR. FRANCIS M. CAIN,
分类号 C23F4/00;G01N23/20;H01J37/34 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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