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经营范围
发明名称
Magnetron-Zerstäubungsanlage mit mehreren Plasmaringen, Verfahren zum Zerstäuben eines Targets sowie Verwendung der Anlage bzw. des Verfahrens
摘要
申请公布号
DE10138156(B4)
申请公布日期
2007.11.22
申请号
DE20011038156
申请日期
2001.08.03
申请人
SINGULUS TECHNOLOGIES AG
发明人
MUECKE, MICHAEL;SICHMANN, EGGO
分类号
C23C14/35;H01J37/34
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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