发明名称 Magnetron-Zerstäubungsanlage mit mehreren Plasmaringen, Verfahren zum Zerstäuben eines Targets sowie Verwendung der Anlage bzw. des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE10138156(B4) 申请公布日期 2007.11.22
申请号 DE20011038156 申请日期 2001.08.03
申请人 SINGULUS TECHNOLOGIES AG 发明人 MUECKE, MICHAEL;SICHMANN, EGGO
分类号 C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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