发明名称 High vacuum pumping systems
摘要
申请公布号 GB932012(A) 申请公布日期 1963.07.24
申请号 GB19600010339 申请日期 1960.03.23
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人
分类号 C01B31/08;F04B37/08;H01J9/38;H01J9/385;H01J41/12 主分类号 C01B31/08
代理机构 代理人
主权项
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